Ученые из нескольких российский научных организаций исследовали процесс гравировки боросиликатного стекла фемтосекундным лазером. Им удалось найти новый способ быстро наносить на стекло разные структуры размером менее 100 нанометров, что будет востребовано при производстве сенсоров и микросхем, сообщает пресс-служба МФТИ со ссылкой на статью, опубликованную в журнале ACS Applied Materials & Interfaces.
В эксперименте, где принимали участие ученые из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ, использовали фемтосекундный лазер. Этот тип лазера генерирует импульсы ультракороткого излучения, поэтому его применяют в областях, где нужна высокая точность, например, в офтальмологии для коррекции зрения или в микроэлектронике для создания микросхем. Обычно лазер фокусируют с помощью металлических наночастиц или слоя диэлектрических микросфер. Неудобство такого подхода заключается в том, что «линзы» фиксированы, их нельзя двигать. Чтобы обойти это препятствие ученые придумали создать своеобразную ловушку пучком света в жидкости. Пучок света и вместе с ним ловушку можно двигать и фокусировать лазер в конкретном месте. Кроме того, поверхность стекла после обработки лазером обрабатывали горячей щелочью, чтобы сгладить лишние неровности. При такой схеме эксперимента на стекле получаются структуры до 70 нанометров.
В качестве примера авторы работы нанесли новым методом аббревиатуру английского названия Института химической физики — ICP, т.е. Institute of Chemical Physics. Средняя ширина каждой буквы составила 100 нм, глубина — 20 нм.
Авторы статьи считают, что они нашли быстрый и дешевый способ наногравировки, который пригодится в микрофлюидике — перспективной технологии создания микросхем, где в качестве рабочего вещества используется жидкость. Также о достижениях в микрофлюидике читайте в заметке «Как правильно смешивать жидкости».
