Материалы портала «Научная Россия»

В Саратове смогут создавать наноразмерные структуры

В Саратове смогут создавать наноразмерные структуры
Лучшей в России системой электронно-лучевой литографии будут пользоваться саратовские учёные

На кафедре микро- и наноэлектроники в НПП «Контакт» при Саратовском государственном университете (СГУ) установлен уникальный для России прибор, сообщает сайт учебного заведения.

Японские специалисты из фирмы CRESTEC, учёные из СГУ, НПП «Контакт» и НПЦ «Алмаз-Фазотрон» ввели в строй систему электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL-9000. Она позволяет создавать структуры размером до 8 нанометров.

Установка обладает рекордными для России техническими параметрами и позволит создавать уникальные электронные приборы. Она расположена в комплексе «чистых помещений» (по 4 классу ISO), введённом эксплуатацию немецкой фирмой «Вайcс Климатехник» на территории базовой кафедры СГУ.

Учёные из университета и научно-производственных предприятий уже начали отрабатывать технологии создания наноразмерных структур, которые могут быть использованы в перспективных электронных приборах мирового уровня.

литография саратовский государственный университет

Назад

Социальные сети

Комментарии

Авторизуйтесь, чтобы оставить комментарий